이노메트리는 JWMT(구 중우엠텍)과 익스톨에 유리기판 글라스관통전극(TGV)용 엑스레이 검사장비를 공급했다고 5일 밝혔다.
장비는 유리기판에 TGV 방식으로 도금된 금속 전극 내부를 확인하고, 전기적 성능과 신뢰성에 영향을 줄 수 있는 미세결함을 정밀 검출 및 관리하는 역할을 한다.
JWMT와 익스톨은 반도체 유리기판 사업을 추진 중인 곳이다. 특히 JWMT는 삼성전자, 익스톨은 삼성전기로부터 투자를 받아 삼성 반도체 유리기판 공급망 진입을 시도 중이다. 이노메트리도 유리기판 공급망에서 한 축을 담당하는 모습이다.
회사 관계자는 “유리기판 검사장비 사업이 실질적 매출 단계에 진입하고 있다”며 “2개 업체 외에도 전자부품, 반도체, 도금, 유리가공, 화학소재 등 다양한 분야 기업과 기술 제휴 및 장비 공급을 논의하고 있다”고 전했다.
유리기판은 인공지능(AI) 반도체에 각광 받을 것으로 관심을 모으고 있는 기술이다. 열에 강하고 회로를 더 정밀하게 구현할 수 있어 고성능 반도체에 적합하다는 평가다.
회로 구현에는 TGV 가공이 필요하다. 전기 신호가 지나다닐 수 있도록 유리에 구멍을 뚫는 공정이다. 기존 비전검사나 초음파검사로 확인이 어려운 TGV 전극 내부의 기공, 미도금, 충진불량 등을 확인하기 위해 엑스레이·CT 기반 검사방식이 활용된다.
이갑수 이노메트리 대표는 “유리기판은 미세회로를 안정적으로 구현하는 것이 핵심인데 기술 난이도가 높아 불량 검출 및 관리가 중요하다”며 “TGV 전용 검사솔루션의 정밀도를 지속 고도화하고 주요 협력사들과 파트너십을 강화해 최종 고객사의 반도체 성능·품질·수율 향상에 기여할 것”이라고 말했다.
정현정 기자 iam@etnews.com
