반도체 장비기업 예스티가 글로벌 반도체 기업에 독자 개발한 고압어닐링장비(HPA)를 첫 출하했다고 23일 밝혔다.
예스티는 양산 테스트를 위한 75매 고압어닐링장비를 출하하고 글로벌 고객사 사이트에 성공적으로 인도(Fab-in)했다. 그간 해당 고객사와 다양한 평가를 거쳐 양산 테스트를 위한 JDP 계약을 체결했다. 이번에 공급된 장비는 고객사 생산 라인에서 양산에 적용된다.
이번 출하는 예스티가 고압어닐링 시장에서 제품 경쟁력을 입증했다는 점에서 의미가 크다. 예스티는 이미 다른 글로벌 기업으로부터 125매 대용량 장비를 수주해 오는 8월 납품을 앞두고 있다. 여기에 이번 75매 장비 공급까지 더해지며, 메모리와 파운드리를 아우르는 전 영역의 고객군을 확보하게 됐다.
예스티 관계자는 “이번 첫 장비 공급과 기존 수주 성과를 바탕으로 올해부터 고압어닐링장비 매출이 회사 실적에 본격적으로 반영될 것”이라며 “현재 여러 글로벌 고객사들과 다양한 공정 적용을 위한 논의와 테스트를 긴밀하게 진행 중”이라고 말했다.
예스티는 지난 2020년부터 자체 보유한 정밀 열·압력 제어 기술력을 바탕으로 고압어닐링장비를 개발해 왔다. 아울러 차세대 장비인 고압산화공정장비(HPO)의 상용화도 속도를 내고 있다. 예스티는 알파기(Alpha)를 통해 최적의 공정 조건을 확보했으며, 최근 국책과제를 통해 양산기 제작까지 완료했다.
박유민 기자 newmin@etnews.com
